Prinsip teras bagi-penderia ketepatan tinggi terletak pada menukar kuantiti yang diukur kepada isyarat elektrik yang tepat, stabil dan boleh dipercayai melalui reka bentuk yang tepat, proses pembuatan lanjutan, algoritma pemprosesan isyarat yang kompleks dan teknik pampasan ralat yang ketat. Aspek utama untuk mencapai ketepatan tinggi termasuk: pengoptimuman prinsip penderiaan asas,-bahan berprestasi tinggi dan struktur ketepatan, proses pembuatan lanjutan (seperti MEMS), hingar-rendah, litar elektronik-kepersisan tinggi, pampasan suhu, ketaklinearan dan penjajaran, penentukuran dan penyeragaman, penindasan isyarat digital dan perisai. Idea teras adalah untuk memahami dengan mendalam dan mengukur semua sumber ralat yang mungkin dan secara aktif menghapuskan atau mengimbangi ralat ini melalui reka bentuk kolaboratif perkakasan dan perisian.
Dalam bidang pembuatan dan pemeriksaan ketepatan, penderia kepersisan tinggi-digunakan untuk pengukuran anjakan, dimensi dan topografi permukaan berketepatan tinggi-tinggi, seperti penderia sentuhan jenis-pen P12KL-GT2 untuk pengesanan peringkat mikron.
Dalam bidang kawalan dan pemantauan proses,-penderia ketepatan tinggi digunakan dalam persekitaran perindustrian yang keras seperti industri kimia dan tenaga untuk pemantauan yang sangat boleh dipercayai bagi parameter proses utama seperti tekanan, suhu dan kadar aliran, seperti penderia tekanan ketepatan tinggi siri PX409 OMEGA-.
